ФОРМИРОВАНИЕ МНОГОСЛОЙНОЙ НАНОСИСТЕМЫ Si/NiSi2/Si, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ТВЕРДОФАЗНОГО ОСАЖДЕНИЯ. Modern education and development, [S. l.], v. 25, n. 4, p. 385–391, 2025. DOI: 10.71337/inlibrary.uz.mead.117756. Disponível em: https://inlibrary.uz/index.php/mead/article/view/118267. Acesso em: 11 jun. 2026.