Pecvd jarayonlarini diagnostika va monitoring qilish usullari

CC BY f
393-396
18
3
Поделиться
Гоипов, Б. (2022). Pecvd jarayonlarini diagnostika va monitoring qilish usullari. Современные инновационные исследования актуальные проблемы и развитие тенденции: решения и перспективы, 1(1), 393–396. извлечено от https://inlibrary.uz/index.php/zitdmrt/article/view/5121
Бунёд Гоипов, Mirzo Ulug‘bek nomidagi O‘zbekiston Milliy universiteti, Fizika fakulteti

magistranti

Crossref
Сrossref
Scopus
Scopus

Аннотация

Hozirgi kunda fan va texnalogiyani rivojlanishida nanotexnalogiyani orni ortib bormoqda. Ayniqsa, olinayotgan nanoochamdagi zarralar, nanokalsterlarni va qatlamlarni analitik olchash, tekshirish quyidagi asboblarni orni benihoya katta hisoblanadi


background image

393


Shundаy kеltirilgаn sхеmа bo‗yichа kompyuter ekrаnidа hаrаkаtli tаsvir аmаlgа

оshirilаdi. Bu texnologiyalardan foydalanish darsda vaqtni tejashga, turli o‗quv vositalari
usullarini tashkil qilishga, ta‘lim jarayonida ko‗rgazmalik darajasini oshirishga, o‗quv jarayonini
jonlantirishga, emotsional holatni oshirishga imkon beradi.

Tа‘limni kompyuterlаshtirish insоnning аqliy rivоjlаnishigа ulkаn hissа qo‗shаdi.

Chunki, kompyuter yordаmidа o‗qitish jаrаyonidа insоn fikrlаsh usul vа mеtоdlаri qаtоridаn
induksiya vа dеduksiya, umumlаshtirish vа аniqlаshtirish, tаhlil vа sintеz, tаsniflаsh vа
tizimlаshtirish, аbstrаklаshtirish vа o‗хshаtish kаbilаr tаbiiy rаvishdа o‗rin оlаdi. Bulаr esа
mаntiqiy хulоsа chiqаrish uchun fikrlаrni ifоdаlаsh, аsоslаsh vа isbоtlаshgа, shu аsоsdа mаntiqiy
fikrlаshning o‗sishigа аsоs bo‗lib хizmаt qilаdi.

Foydalanilgan adabiyotlar roʻyxati:

1.Нишоналиев У. Янги педагогик ва ахборот технологиялари :муаммолар, ечимлар/

«Таълимда

ахборот

технологиялари»

мавзусидаги

республика

илмий-амалий

конференцияси материаллари. -Тошкент: ТДПУ, 2000.

2.Кузнецова Н.Е., Злотников Э.Г. Об организации химического образования в

школах США //Химия в школе. -1999. -№7. -С. 57-61.



PECVD JARAYONLARINI DIAGNOSTIKA VA MONITORING QILISH USULLARI

G‗oipov Bunyod Anorboyevich

Mirzo Ulug‗bek nomidagi O‗zMU fizika fakulteti magistranti


Annotatsiya:

Hozirgi kunda fan va texnalogiyani rivojlanishida nanotexnalogiyani o‗rni

ortib bormoqda. Ayniqsa, olinayotgan nanoo‗chamdagi zarralar, nanokalsterlarni va
qatlamlarni analitik o‗lchash, tekshirish quyidagi asboblarni o‗rni benihoya katta hisoblanadi.

Kalit so‗zlar:

PECVD, LIF, OES, MS, AFM, Raman spektrometr, Ellipsometr.

Yupqa qatlamlarni o‗stirishda, PECVD metodinig tashqi va ichki parametrlari, hamda

qatlam xususiyatlari o‗rtasidagi munosabatlar juda murakkab. Agar biz reaktor ichida sodir
bo‗layotgan jarayonlarni tushunish, nazorat qilish va optimallashtirish uchun ichki parametrlarni
(zarrachalar hosil bo‗lishi, ularning oqimi va energiyasi kabi) bilish juda muhimdir. Quyida
keltirilgan jadval plazma diagnostikasining turli usullarida, ma‘lumotlarni kiritish, umumiy
jarayon, kirish parametrlari va plazma xususiyatlari o‗rtasidagi o‗zaro bog‗liqlik, shuningdek,
har bir PECVD tizimining o‗ziga xos xususiyatlarini tushunishni rivojlantirish imkoniyatini
beradi.

1-jadval: PECVD jarayonlarini ilg‗or tahlil qilish va nazorat qilish uchun mos diagnostika

usullari va ularning imkoniyatlari [4].

Plazma diagnostika usullarini ko‗p jihatdan tasniflash mumkin. Misol uchun:
1) ular o‗lchaydigan zarralar (elektronlar, ionlar, radikallar, fotonlar va boshqalar);


background image

394

2) faol bo‗lish orqali (tizimga qo‗shimcha signalni lazer bilan induktsiyalangan floresansda

(LIF) lazer nurlari yoki Langmuir zondlarida tashqi kuchlanishni kiritish;

3) passiv bo‗lish orqali (massspektrometriyada neytrallardan namuna olish yoki optik

emissiya spektroskopiyasida (OES) chiqarilgan yorug‗lik);

4) baholashga yordam beradigan parametrlar bo‗yicha (n

e

, n

R

va boshqalar) [1,3].

Bundan tashqari, jadvalda keltirilgan mavjud vositalar to‗g‗ridan-to‗g‗ri taglik yuzasida

qatlam o‗sish jarayonini kuzatish va qatlamlarning massasi/zichligi, optik, elektr va boshqa
xususiyatlarini boshqaradi. Har qanday PECVD tizimini diagnostika qilishda eng ko‗p
uchraydigan muammolaridan biri bu elektr yoki optik komponentlarning cho‗ktirilgan qatlamlar
bilan ifloslanishidir; bu o‗lchash aniqlikni sezilarli darajada kamaytirishi va mahsulot sifatini
pasayishiga olib keladi.

Bunday muammolarni hal qilish usullari texnika va jarayonni borishiga bog‗liq. Ana

shunday kamchiliklarni bartaraf qilish usullari mavjud; shu jumladan panjurlardan foydalanish
(faqat o‗lchovning o‗zi qisqa vaqt ichida ochiladi); uzoq inert gazni tozalash; oyna va linzalarda
cho‗kishni minimallashtirish uchun diafragmali kollimatorlardan foydalanish; to‗plangan
qatlamni issiqlik bilan bug‗lash yoki purkash bilan olib tashlash uchun elektr (Langmuir)
problariga yuqori musbat yoki salbiy kuchlanishlarni qo‗llash va boshqa yondashuvlar [1-3,4-6].

Spektral elipsometriya turli xil sohalarda qo‗llaniladigan nanostrukturalarning, optik

konstantalari va qalinliklarini o‗ta yuqori, nanometrnng o‗ndan biri aniqlikda o‗lchash imkonini
beradi. Bunday aniqlikka ehtiyoj, birinchi navbatda zamonaviy mikro- va nanoelektronikada,
optik qoplamlar texnologiyasida, elektrokimyoviy jarayonlarni o‗rganishda, biologiyada va
boshqa qator sohalarda yuzaga keladi [7].

1-rasm. Spektral elipsometrning tuzilishi va ishlash prinspi.


background image

395


Boshqa analitik usullardan farqli, ellipsometriya usuli juda sodda bo‗lib, namunalarni

oldindan maxsus tayyorlashni talab etmaydi, o‗lchash vaqtida na‘munalar xususiyatlariga ta‘sir
ko‗rsatmaydi. Uslubning yuqorida keltirilgan barcha afzalliklari uni ommalashishiga va nafaqat
ilmiy tadqiqotlar uchun, balki nanoindustriya sohasidagi turli xil texnologik jarayonlarni nazorat
qilish uchun keng qo‗llanilishga olib keldi.

Yana bir asosiy diagnostika usuli bu Raman spektroskopiyasi. Unda yorug‘likning

molekular sochilishi va uning spektral tarkibi haqida batafsil ma‗lumotlarni olishimiz mumkin
[7].

2-rasm. Raman spektroskopiyasining ishlash prinspi.

Molekula yorug'lik bilan ta'sirlashganda molukula tebranishi va fotonlar orasida o‗zaro

energiya almashinuvi yuzaga keladi. Sochilish natijasida hosil bo‗lgan tushayotgan va sochilgan
nur chastotalarining farqi o‗rganilayotgan molekulaning normal tebranishlari haqida aniq
ma‘lumot beradi. Bu hol alohida atom yoki molekuladan tashqari o‗zaro bog‗langan atomlar


background image

396

gruppasi uchun ham o‗rinli. Lazer nurining to‗lqin uzunligiga qarab namunani turli chuqurlikda
o‗rganish mumkin.

Foydalanilgan adabiyotlar ro‗yxati:

1.

I.H. Hutchinson, Principles of Plasma Diagnostics, Cambridge University Press,

Cambridge (2002).263

2.

R. Hippler, S. Pfau, M. Schmidt, K.H. Shoenbach (Eds.), Low Temperature Plasma

Physics: Fundamental Aspects and Applications, Wiley-VCH, Berlin (2001).

3.

F. Chen, Lecture Notes on Principles of Plasma Processing, Kluwer Academic/Plenum

Publishers, New York (2003).161.

4.

L. Martinu, O. Zabeida, J. Klemberg-Sapieha Plasma-Enhanced Chemical Vapor

Deposition of Functional Coatings Published (2010).407

5.

H. Aguas, R. Martins, E. Fortunato, Vacuum 56 (2000) 31.

6.

P. Spatenka, H. Suhr, Plasma Chem. Plasma Process. 13 (1993) 555.

7.

HAL Id: tel-01688695

https://pastel.archives-ouvertes.fr/tel-01688695

Submitted on

19 Jan 2018. 43.


MURAKKAB FUNKSIYALARDAN OLINGAN ANIQ INTEGRALNI TAQRIBIY

HISOBLASH

Po‗latov Baxtiyor Sobirovich

O‗zMU Jizzax filiali ―Amaliy matematika‖ kafedrasi katta o‗qituvchisi

Xurramov Yodgor Safarali o‗g‗li

O‗zMU Jizzax filiali ―Amaliy matematika‖ kafedrasi assistenti

Ibrohimov Javohir Bahromovich

O‗zMU Jizzax filiali ―Amaliy matematika‖ kafedrasi assistenti

Annotatsiya. Odatda, aniq integrallar Nyuton-Leybnis formulasi yordamida hisoblanadi.

Bu formula boshlang‗ich funksiyaga asoslanadi.Ammo boshlang‗ich funksiyani topish masalasi
doim osongina hal bo‗lavermaydi. Agar integral ostidagi funksiya murakkab bo‗lsa, tegishli aniq
integralni taqribiy hisoblashga to‗g‗ri keladi.

Kalit so‗zlar: To‗g‗ri to‗rtburchaklar formulasi, trapesiyalar formulasi, Simpson

formulasi, integralni taqribiy hisoblash, taqribiy hisoblash xatoligi.

Faraz qilaylik,

)

(

x

f

funksiya

]

,

[

b

a

segmentda berilgan va uzluksiz bo‗lsin. Demak,

])

,

([

)

(

b

a

R

x

f

.

..

b

a

dx

x

f

)

(

integralni taqribiy hisoblash uchun quyidagi

)

(

)

(

1

1

2

1

n

k

k

b

a

x

f

n

a

b

dx

x

f

(1)

formulaga kelamiz.
(1) formula

to‗g‗ri to‗rtburchaklar formulasi

deyiladi.

Endi (1) taqribiy formulaning xatoligi quyidagi:

Библиографические ссылки

I.H. Hutchinson, Principles of Plasma Diagnostics, Cambridge University Press, Cambridge (2002).263

R. Hippier, S. Pfau, M. Schmidt, K.H. Shoenbach (Eds.), Low Temperature Plasma Physics: Fundamental Aspects and Applications, Wiley-VCH, Berlin (2001).

F. Chen, Lecture Notes on Principles of Plasma Processing, Kluwer Academic/Plenum Publishers, New York (2003). 161.

L. Martinu, O. Zabeida, J. Klemberg-Sapieha Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition of Functional Coatings Published (2010).407

H. Aguas, R. Martins, E. Fortunato, Vacuum 56 (2000) 31.

P. Spatenka, H. Suhr, Plasma Chem. Plasma Process. 13 (1993) 555.

HAL Id: tel-01688695 https://pastel.archives-ouvertes.fr/tel-01688695 Submitted on 19 Jan 2018.43.

inLibrary — это научная электронная библиотека inConference - научно-практические конференции inScience - Журнал Общество и инновации UACD - Антикоррупционный дайджест Узбекистана UZDA - Ассоциации стоматологов Узбекистана АСТ - Архитектура, строительство, транспорт Open Journal System - Престиж вашего журнала в международных базах данных inDesigner - Разработка сайта - создание сайтов под ключ в веб студии Iqtisodiy taraqqiyot va tahlil - ilmiy elektron jurnali yuridik va jismoniy shaxslarning in-Academy - Innovative Academy RSC MENC LEGIS - Адвокатское бюро SPORT-SCIENCE - Актуальные проблемы спортивной науки GLOTEC - Внедрение цифровых технологий в организации MuviPoisk - Смотрите фильмы онлайн, большая коллекция, новинки кинопроката Megatorg - Доска объявлений Megatorg.net: сайт бесплатных частных объявлений Skinormil - Космецевтика активного действия Pils - Мультибрендовый онлайн шоп METAMED - Фармацевтическая компания с полным спектром услуг Dexaflu - от симптомов гриппа и простуды SMARTY - Увеличение продаж вашей компании ELECARS - Электромобили в Ташкенте, Узбекистане CHINA MOTORS - Купи автомобиль своей мечты! PROKAT24 - Прокат и аренда строительных инструментов