ВЗАМОДЕЙСТВИЕ ПРИМЕСНЫХ АТОМОВ Ni и Cu НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА КРЕМНЫЕВЫХ ДАТЧИКОВ
Аннотация
Определены проводимость и время жизни неравновесных носителей
заряда примеси никеля в тензодатчиках из монокристаллического кремния. Установлен
оптимальный режим протекания процесса диффузии. Показано, что генерация термодоноров
подавляется взаимодействием примесей никеля и кислорода, вводимых при 500оС, и доказано
это взаимодействие не влияет на образование высокотемпературных термодоноров,
образующихся при 700°С.
Тип источника:
Журналы
Годы охвата с
2024
inLibrary
Google Scholar
Выпуск:
Скачивания
Данные скачивания пока недоступны.
Поделиться
Нормуратов , К. (2025). ВЗАМОДЕЙСТВИЕ ПРИМЕСНЫХ АТОМОВ Ni и Cu НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА КРЕМНЫЕВЫХ ДАТЧИКОВ . Универсал международный научный журнал, 2(5.2), 32–34. извлечено от https://inlibrary.uz/index.php/universaljurnal/article/view/115214
Ключевые слова:
Аннотация
Определены проводимость и время жизни неравновесных носителей
заряда примеси никеля в тензодатчиках из монокристаллического кремния. Установлен
оптимальный режим протекания процесса диффузии. Показано, что генерация термодоноров
подавляется взаимодействием примесей никеля и кислорода, вводимых при 500оС, и доказано
это взаимодействие не влияет на образование высокотемпературных термодоноров,
образующихся при 700°С.
Библиографические ссылки
Насриддинов С.С., Маннанов М.И., Соатов А.Қ., Ибодуллаев Ш.Н. Cu атомлари билан
легирланган кремний асосида терморезисторлар яратишнинг физик ва технологик
имкониятлари. ФарПИ илмий-техник журнали. 2022 й. Том 26 №1, 22-26 бетлар.
Nasriddinov S.S., Esbergenov D.M. Kinetics of formation of complex defects in silicon doped
with zinc and nickel. European Science Review Scientific journal № 1–2 2022 (January –
February) 40-45.
Насриддинов С.С., Маннанов М.И., Есбергенов Д.М., Турсунметова З.А.
Термоанемометрический резистор на основе кремния, легированного медью. НТЖ ФерПИ.
Т.26. В.3.
Насриддинов С.С., Есбергенов Д.М. Исследования комплексного дефектооброзования в
кремнии, легированном никелем. / Известия вузов. Физика. (SCOPUS)
